天星科技网

光刻工艺控制的要素有哪些?(什么是工艺控制)

大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于什么是工艺控制的问题,于是小编就整理了4个相关介绍的解答,让我们一起看看吧。
  1. 光刻工艺控制的要素有哪些?
  2. 什么是热机械控制工艺?
  3. 3. 在化工生产中,工艺参数的安全控制主要指哪些内容?
  4. 什么是工艺控制指标?

光刻工艺控制的要素有哪些?

光刻工艺的三要素:

光刻工艺控制的要素有哪些?(什么是工艺控制)-图1

① 掩模版:主体为石英玻璃,透光性高,热膨胀 系数小 ② 光刻胶:又称光致抗蚀剂,采用适当的有选择 性的光刻胶,使表面上得到所需的图像. ③ 曝光机:用于曝光。

光刻(英语:photolithography)工艺是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。

光刻有三要素:光刻机;光刻版(掩模版);光刻胶。

光刻工艺控制的要素有哪些?(什么是工艺控制)-图2

什么是热机械控制工艺?

热机械控制工艺是在程序控制温度下,测量物质在振动负荷下的动态模量和阻尼与温度关系的一种技术。

3. 在化工生产中,工艺参数的安全控制主要指哪些内容?

工艺参数安全控制,就是将工艺参数控制在安全范围之内,比如说,某精馏塔,主要控制塔内顶部、中部、底部的温度、压力、静压,以及物料中氧含量、水分百分比、塔顶回流比、塔顶冷凝液流量、塔底再沸器流量、物料踩出、塔进料等,所有的参数操作都应该在正常范围之内,超出规定的范围,就存在不安全因素,系统就会报警,在塔安全附件中,主要有在线分析仪表以及温度、压力仪表高报、高高报、连锁停车、PB停车、安全阀、火炬系统等。

什么是工艺控制指标?

工艺质量控制指标是为工艺路线服务的。为了工艺后续工序的顺利加工,但是又找不到合适的定位点,只有把图纸中合适定位点尺寸的公差缩小或粗糙度、形位公差提高到一个新水平,满足工艺流程定位要求。这个新的公差、粗糙度、形位公差新要求就叫工艺质量控制指标。

光刻工艺控制的要素有哪些?(什么是工艺控制)-图3

到此,以上就是小编对于什么是工艺控制点的问题就介绍到这了,希望介绍的4点解答对大家有用。

本站非盈利性质,与其它任何公司或商标无任何形式关联或合作。内容来源于互联网,如有冒犯请联系我们立删邮箱:83115484#qq.com,#换成@就是邮箱

转载请注明出处:https://www.xuehelunwen.com/kj/6098.html

分享:
扫描分享到社交APP
上一篇
下一篇