什么是MEMS技术?MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)技术是一种将微型电子技术、微型机械技术和微型光学技术相结合的跨学科领域。通过使用微型或纳米级的工艺制造技术,MEMS技术可以在微尺度上制造出具有...
MEMS传感器的定义和概述MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)传感器是一种基于微机电系统技术的传感器,它将微小的机械结构、电子元件和信号处理电路集成在一起,能够实现对物理量的检测和测量。MEMS传感器...